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国林科技:子公司国林半导体现有产品包括半导体级超纯臭氧气体发生器
时间:2025-06-13 14:29 点击次数:73

  同花顺300033)金融研究中心06月03日讯,有投资者向国林科技300786)提问, 公司哪些半导体设备产品属于国产替代,填补了国产空白?

  公司回答表示,尊敬的投资者,您好。臭氧在半导体行业的应用范围主要包括薄膜沉积、湿法清洗、表面处理、氧化物生成等工艺制程。子公司国林半导体现有产品包括:半导体级超纯臭氧气体发生器、臭氧气体输送系统、半导体级高浓度臭氧水系统、DI-NH3氨水输送系统、臭氧水杀菌系统、臭氧气体尾气分解器、臭氧水分解器、臭氧气体浓度检测仪、臭氧水溶浓度检测仪、移动式高浓度臭氧水车等产品。感谢您的关注。

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