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国林科技:臭氧设备可应用于半导体、光伏、电子光电等微观制程领域
时间:2025-05-23 20:38 点击次数:88

  金融界4月1日消息,有投资者在互动平台向国林科技提问:胡总,贵公司半导体臭氧设备是否可用于新凯莱的CVD和ALD产品中呢?贵公司除北方华创这种半导体大厂外是否还有其他半导体客户呢?

  公司回答表示:臭氧在半导体行业的应用范围主要包括薄膜沉积、湿法清洗、表面处理、氧化物生成等工艺制程。子公司国林半导体目前主营业务产品包括:臭氧气体发生器、臭氧气体输送设备、半导体级高浓度臭氧水系统、臭氧水溶浓度检测仪、臭氧尾气分解器等,可应用于半导体、光伏、电子光电等微观制程领域,目前占公司营业收入比重较小。公司目前已与部分清洗设备厂商、光伏、面板等头部企业建立了合作关系,产品验证工作正在有序进行。

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